קיזור מגנטרון תגובתי היא טכניקה בוגרת להנחת שכבת תרכובת דקה על מגוון רחב של מצעים כשכבה עליונה או כשכבת ביניים בציפוי רב שכבתי. היקף ה"דק" נע בין כמה ננומטרים לכמה מיקרומטרים.
למה מגנטרון מקרטט?
קריזת מגנטרונים היא תהליך ההתנגשות בין חלקיקים תקפים ומטרות … קיזור מגנטרונים מגביר את צפיפות הפלזמה על ידי החדרת שדה מגנטי על פני קתודית המטרה וניצול האילוצים של השדה המגנטי על החלקיקים הטעונים כדי להגביר את קצב הקפיצה.
למה הכוונה בקיטוב תגובתי?
קיזור תגובתי הוא תהליך המאפשר הפקדת תרכובות על ידי החדרת גז תגובתי (בדרך כלל חמצן או חנקן) לפלזמה שנוצרת בדרך כלל על ידי גז אינרטי כגון ארגון (הנפוץ ביותר), קסנון או קריפטון.
איך מקרטעת מגנטרון עובד?
קריזת מגנטרון היא טכנולוגיית שיקוע המערבת פלזמה גזית שנוצרת ומוגבלת בחלל המכיל את החומר שיש להפקיד - ה'מטרה'. … התנגשויות אלו גורמות לדחייה אלקטרוסטטית אשר 'דוחה' אלקטרונים מאטומי הגז המקרטעים, וגורמת ליינון.
למה RF מקרטז?
RF או Radio Frequency Sputtering היא הטכניקה הכרוכה בהחלפת הפוטנציאל החשמלי של הזרם בסביבת הוואקום בתדרי רדיו כדי למנוע הצטברות מטען על סוגים מסוימים של חומרי מטרה מקרטעים, אשר לאורך זמן עלול לגרום לקשת לתוך הפלזמה המפולטת טיפות …
